�߾���������;�Č���ʽ�|(zh��)������Ӌ
�� ���ȿ��_�x��(sh��)�� ��0.8%, �M���̵ġ�0.2%;�جF(xi��n)�Ԟ��0.2%
�� �ɜy��20�N�˜ʚ��w-����(j��)�@ʾ���x
�� ������1 SCCM������(n��i)1% ~ 100%���{(di��o)��(ji��)�����̿��_1000SLPM
�� ����NISTۙ�C��
�@�N����Ӌͨ�^�y�����wͨ�^������(LFE)�a(ch��n)���ĉ�����y�����w���������������ѽ�(j��ng)������������˟o��������Ӌ����ʹ�����������ֱ�����O��غ���������Ӌ�İ��b�^���� ͬ���|(zh��)�����g�����LFE�OӋ���г��̵ķ����r�g��10�����ԃ�(n��i)������ֱ��ʹ�ö��o���A��ȴ���ʹ���@ʾ����߅�h(hu��n)�@���B�w�I�P�������ȫ�����̲�������ͨ�^0 ~ 5 VDC��̖������ֵݔ�����h���@ʾ����ӛ䛃x�������{(di��o)��(ji��)�y�T/�õĿ���������
�������������зe��PID�����������S����Ҫ���׃���������{(di��o)��(ji��)����ʹ���I�P�����x���O������ģ�K��0 ~ 5V��̖��RS-232ݔ����̖�M�������O�����O������ģ�Kӆُ��ϢҊ�±���ӆُʹ���±��е�늳ذ����Ɍ��F(xi��n)����Ӌ��yʽʹ�á�
�S�C��䣺�S���ṩ��NISTۙ�C����120/230 VAC�Դ�m��������ͨӍ��